我国工业气体行业发展亟待突破高端特气瓶颈

发布时间：2023-07-27

尽管在钢瓶气等传统及中低端产品方面，我国已经形成了规模优势，但在高端气体尤其是特气方面，我国的差距还是比较明显。“特气是新兴门类，在特定领域应用。目前外资在产品质量和产业规模上均具有较大优势，国内还有很多特气不能生产，很多产品还处于进口替代过程中。”目前全国的工业气体中特气占比15%，特气中一半是电子特气。

电子气体作为极大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料之一，被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，没有这些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太阳能产品就无法制造。据业内不完全统计，2016年我国晶圆制造电子材料市场总额达343.03亿元，较2015年增长6.9%，预计2017年将达359.36亿元。未来中国基于广大的市场消费群体，预计仍将保持增长态势。

经过近10年发展，国内电子气体行业涌现了一批生产质量稳定，能够被半导体客户接受的电子气体生产企业。从2012年至2016年，国内电子气体企业生产销售额占中国晶圆制造电子气市场需求由3.8%增加至25.0%，预计2017年将增加至28.4%。国内电子气体市场接近全球的1/3，而且比例还在不断提高，但国内自给率却非常低，近八成产品依赖进口。

“有些电子气体国内并不是完全不能生产，但在技术精益性上与国际先进水平有差别。譬如氯化氢，国内企业也可以做到水分含量只有0.1ppm，但难以确保质量恒定在高水平。”

据了解，国家对电子气体的发展一直比较重视，仅去年就出台了多项鼓励政策。譬如科技部印发的《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》提到要重点研发超高纯电子气体；发改委印发的《增强制造业核心竞争力3年行动计划（2018～2020年）》提到了高纯氯气、氯化氢、等系列电子特气。“我们应抓住时机，通过自主创新，增加产品种类，提高国产化率，争取早日解决缺‘气’的瓶颈和制约。”